发明名称 TRANSPORTING SYSTEM AND METHOD
摘要 (과제) 처리 장치의 앞면을 막지 않고, 또한 반송 시스템이 평면으로 보았을 때 차지하는 바닥 면적을 작게 하면서 처리 장치로 물품을 신속하게 공급 반출한다. (구성) 천정 주행차 궤도와 평행하게 그 하방에 처리 장치의 로드 포트의 상류측에서 하류측까지 로드 포트의 상방에 배치되어 있는 로컬 궤도가 설치되고, 호이스트를 구비하는 로컬 대차가 주행한다. 로컬 궤도의 하부에 처리 장치의 로드 포트의 상류측에 배치되어 있는 제 1 버퍼와 하류측에 배치되어 있는 제 2 버퍼가 천정 주행차와 로컬 대차가 함께 물품을 주고받는 것이 가능하게 설치되어 있다.
申请公布号 KR101707059(B1) 申请公布日期 2017.02.15
申请号 KR20110104169 申请日期 2011.10.12
申请人 무라다기카이가부시끼가이샤 发明人 오타 다츠지;후쿠시마 마사즈미;이토 야스히사
分类号 H01L21/677;B65G1/00;B65G1/04;B65G49/07 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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