| 摘要 |
본 발명은 플렉서블 촉각 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 플렉서블 촉각 센서는 폴리머 층, 상기 폴리머 층의 상부에 형성된 제1 금속층, 상기 제1 금속층의 상부에 형성되고 변형에 따라 저항값이 변화하는 스트레인 게이지와 상기 스트레인 게이지에 연결된 금속 배선을 포함하는 제1 센서 층, 상기 제1 센서 층을 보호하는 제1 커버 층, 상기 폴리머 층의 하부에 형성된 제2 금속층, 상기 제2 금속층의 하부에 형성되고 변형에 따라 저항값이 변화하는 스트레인 게이지와 상기 스트레인 게이지에 연결된 금속 배선을 포함하는 제2 센서 층 및 상기 제2 센서 층을 보호하는 제2 커버 층을 포함한다. |
