钛金属表面原位合成TiC‑DLC复合涂层的方法

摘要

本发明公开了一种钛金属表面原位合成TiC‑DLC复合涂层的方法，将Ti靶置于镀膜室内，并通入烃类气体，对镀膜室抽真空并保持100~400℃温度，采用电弧离子镀使Ti离子从Ti靶蒸发出来，同时利用电弧放电离化烃类气体，从而在Ti靶形成TiC掺杂的DLC复合涂层。本发明采用原位合成技术在Ti靶材表面直接发生化学反应形成复合涂层，可显著提高复合涂层成分的均匀性和涂层结合力，且制备过程简单、成本低廉、效率高，在DLC涂层制备中具有良好的应用前景。

主权项

钛金属表面原位合成TiC‑DLC复合涂层的方法，其特征在于：Ti靶置于镀膜室内，通入烃类气体，对镀膜室抽真空并保持100～400℃温度，采用电弧离子镀使Ti离子从Ti靶蒸发出来，Ti靶电流为50A，同时利用电弧放电离化烃类气体，从而在Ti靶形成TiC掺杂的DLC复合涂层；其中，烃类气体的通入流量50‑500sccm，合成时间为20～60分钟。