用于快速气体交换、快速气体切换以及可编程的气体输送的方法与装置

摘要

本发明的实施例关于气体输送系统。该气体输送系统包括与一个或更多个气体控制板及一处理腔室流体连通的快速气体交换模块。快速气体交换模块具有第一组流量控制器及第二组流量控制器且其中每一组流量控制器都具有多个流量控制器。配置流量控制器以使得将在第一组流量控制器及第二组流量控制器中的每一个流量控制器独立操作以选择性地打开，从而将气体分流至处理腔室或排气装置。操作第一组流量控制器及第二组流量控制器以将在流量控制器致动的预定时序中的气体的切换同步。本发明使处理腔室中的合成气流能够快速切换，同时将个别流量控制器以更低切换速度操作而提供更长使用寿命。

主权项

一种将气体供应至处理腔室的方法，所述方法包含以下步骤：在第一工艺期间将第一处理气体自第一气体控制板经由第一快速气体交换模块供应至所述处理腔室，所述第一工艺包含以下步骤：将所述第一处理气体自第一流量控制器经由第二流量控制器选择性地分流至所述处理腔室或排气装置，或将所述第一处理气体自所述第一流量控制器经由第三流量控制器选择性地分流至所述处理腔室或所述排气装置，其中所述第二流量控制器与所述第三流量控制器流体连通；以及在第二工艺期间将第二处理气体自第二气体控制板经由第二快速气体交换模块供应至所述处理腔室，所述第二工艺包含以下步骤：将所述第二处理气体自第四流量控制器经由第五流量控制器选择性地分流至所述处理腔室或排气装置，或将所述第二处理气体自所述第四流量控制器经由第六流量控制器选择性地分流至所述处理腔室或所述排气装置，其中所述第五流量控制器与第六流量控制器流体连通，其中以交替顺序将所述第一处理气体及所述第二处理气体供应至所述处理腔室内；以及将在所述第一快速气体交换模块及所述第二快速气体交换模块中的每一个流量控制器的分流状态中的变化同步，从而使得流入所述处理腔室的所述第一处理气体或所述第二处理气体的频率为在所述第一快速气体交换模块或所述第二快速气体交换模块中的每一个流量控制器的分流状态中的变化的频率的两倍。