发明名称 一种用于f‑θ光学系统畸变的标定方法
摘要 本发明提出了一种f‑θ光学系统的畸变测试装置,测试装置包括依次设置的转台、转台上的导轨、被标定的光学系统物方的目标发生器、被标定光学系统的像方的像分析器。本发明的一种用于f‑θ光学系统畸变的标定装置及方法,可同时实现不同物距目标的提供。
申请公布号 CN103499433B 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201310468730.X 申请日期 2013.09.30
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 周艳;赵建科;张洁;徐亮;昌明;刘峰;胡丹丹
分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01M11/04(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人 倪金荣
主权项 一种f‑θ光学系统的畸变测试方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:1)将目标发生器固定在长导轨载物台上,通过长导轨的移动,给出不同距离的目标;2)将长导轨安装在转台上,将f‑θ光学系统装在专用工装上;长导轨前后移动,使目标位于f‑θ光学系统的标准工作距离处;3)光源发出的光经聚光镜后变为准直光出射,经滤光片转换为所需要的波长后,再次经过聚光镜照亮星孔板,被照亮的星孔板经目标微缩镜后缩小成像,作为最终目标提供给被测f‑θ光学系统;4)调整目标发生器光轴、f‑θ光学系统光轴和像分析器视轴位于一条直线上,沿f‑θ光学系统光轴方向调节像分析器三维移动支架,使其位于最佳像面位置;5)在计算机中设置相应的参数,自动控制软件控制转台转动标准角度,同时联动控制三维移动支架在像面垂直被测光学系统平移,此时会在像分析器的探测器上显示目标经f‑θ光学系统所成的像,同时采集转台转动的角度、三维移动支架移动的长度、目标图像;6)自动控制软件控制转台在f‑θ光学系统视场内转动,每转过一个视场角后,完成控制采集工作,得到一系列的转台角度ω<sub>i</sub>、三维移动支架的长度y<sub>i</sub>和目标图像;7)读取目标图像中星点像的位置信息l<sub>I</sub>,再根据畸变算法计算f‑θ光学系统不同视场的畸变。
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