| 发明名称 | 频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 | ||
| 摘要 | 本申请公开了频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统。一种射频系统包括：功率放大器，该功率放大器经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络。传感器监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号。失真模块根据(i)所述第一传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值。第一校正电路(i)基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii)提供在所述匹配网络中执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。 | ||
| 申请公布号 | CN106411272A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201610903050.X | 申请日期 | 2012.12.28 |
| 申请人 | MKS仪器有限公司 | 发明人 | 戴维·J·库莫 |
| 分类号 | H03F1/32(2006.01)I;H03F1/56(2006.01)I;H03F3/189(2006.01)I | 主分类号 | H03F1/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 郭艳芳;王琦 |
| 主权项 | 一种射频系统，包括：功率放大器，经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络；传感器，监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号；失真模块，根据所述第一传感器信号的正弦曲线函数确定第一失真值；以及第一校正电路，(i)基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii)提供在所述匹配网络内执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个，其中所述第一校正电路进一步包括调谐控制模块，该调谐控制模块根据变量控制系数生成所述第一阻抗调谐值。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||