有源光相控阵光子集成芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有源光相控阵光子集成芯片及其制备方法，其中，芯片包括：相干激光器阵列，以通过同一材料和工艺实现的主‑从激光器，通过单向注入锁定方式使多个从激光器中各个从激光器之间具有相同频率和固定相位的良好相干性；光相位调制器阵列，以通过电信号调制方式控制多个光相位调制器中各个光相位调制器对光的相位延迟；过渡波导阵列和光场辐射阵列，用于调整不同从激光器发出的、经过不同光相位调制器而具有不同光相位延迟的相干光束进行波束和发射位置，以根据相位延迟之区别决定相干叠加光束出射方向。该集成芯片可以集成在同一个基底上，输出光的总功率由各个从激光器相干叠加而成，兼有芯片集成化和出射功率高的优点。

主权项

一种有源光相控阵光子集成芯片，其特征在于，包括：相干激光器阵列，所述相干激光器阵列具有主激光器、光隔离器和多个从激光器，以通过同一材料和工艺实现的主‑从激光器，通过单向注入锁定方式使所述多个从激光器中各个从激光器之间具有相同频率和固定相位的良好相干性；光相位调制器阵列，光相位调制器阵列具有多个光相位调制器，以通过电信号调制方式控制所述多个光相位调制器中各个光相位调制器对光的相位延迟；以及过渡波导阵列和光场辐射阵列，用于调整不同从激光器发出的、经过不同光相位调制器而具有不同光相位延迟的相干光束进行波束和发射位置，以根据相位延迟之区别决定所述相干叠加光束出射方向。