| 发明名称 |
EBEAM NON-UNIVERSAL CUTTER |
| 摘要 |
상보적 e 빔 리소그래피(CEBL)에 적합한 리소그래피 장치들 및 그를 수반하는 방법들이 설명된다. 일례에서, e 빔 툴을 위한 블랭커 애퍼처 어레이(BAA)가 설명된다. BAA는 비범용 커터이다. |
| 申请公布号 |
KR20170017882(A) |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
| 申请号 |
KR20167031368 |
申请日期 |
2014.12.19 |
| 申请人 |
인텔 코포레이션 |
发明人 |
보로도브스키, 얀 에이.;넬슨, 도날드 더블유.;필립스, 마크 씨. |
| 分类号 |
H01J37/317;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/311 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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