| 摘要 |
본 발명은 프로브핀 높이 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브카드에 결합되는 프로브핀의 높이를 측정하기 위한 프로브핀 높이 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예는 프로브카드에 결합되는 프로브핀의 높이를 측정하는 프로브핀 높이 측정 장치로서, 상기 프로브카드 상에 위치되는 프로브핀; 및 상기 프로브핀을 인식하는 감시비젼모듈을 포함하며, 상기 프로브핀에는 검사체가 돌출 형성되고, 상기 감시비젼모듈은 상기 검사체의 높이를 인식하여 검침의 높이를 측정하는 것을 특징으로 하는 것인 프로브핀 높이 측정 장치를 제공한다. 또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 a) 상기 프로브핀을 상기 프로브카드로 이송하는 단계; b) 상기 감시비젼모듈을 통해 상기 검사체의 높이를 인식하는 단계; c) 상기 검사체의 높이를 통해 상기 검침의 높이를 측정하는 단계; 및 d) 상기 프로브핀을 상기 프로브카드에 본딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것인 프로브핀 높이 측정 방법을 제공한다. |
