发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING AN ELECTRONIC DEVICE |
摘要 |
L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif électronique comprenant en empilement au moins une première structure (15) et une deuxième structure (16), les structures étant obtenues à partir d'un premier substrat (3) et d'un deuxième substrat (9). Des marques sont obtenues à partir d'un motif fait sur l'un des substrats. En outre, les mêmes supports sont utilisés durant la phase de collage pour la préparation des marques et pour la phase de collage pour l'assemblage des structures. Les alignements sont donc meilleurs. |
申请公布号 |
EP3131116(A1) |
申请公布日期 |
2017.02.15 |
申请号 |
EP20160181484 |
申请日期 |
2016.07.27 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES |
发明人 |
FOURNEL, Frank;DEGUET, Chrystel |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/18;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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