| 发明名称 | 一种甲烷气体检测用红外滤光片及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种甲烷气体检测用红外滤光片及其制备方法，红外滤光片基底材料选用单晶Si，高折射率材料选用Ge，低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜。其镀膜工艺条件是Ge选用电子束蒸镀，沉积速率为<img file="DDA0001100276990000011.GIF" wi="153" he="51" />。SiO选用多孔钼舟电热蒸镀，沉积速率为<img file="DDA0001100276990000012.GIF" wi="182" he="58" />，开始蒸镀真空度为1.0×10<sup>‑3</sup>Pa，沉积温度为200℃。本发明得到的3310nm带通红外滤光片，峰值透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效能。 | ||
| 申请公布号 | CN106405708A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201610784748.4 | 申请日期 | 2016.08.30 |
| 申请人 | 镇江爱豪科思电子科技有限公司 | 发明人 | 刘桂武;张旭;邵海成;侯海港 |
| 分类号 | G02B5/28(2006.01)I;G01N21/3504(2014.01)I | 主分类号 | G02B5/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人 | 卢亚丽 |
| 主权项 | 一种甲烷气体检测用红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板；硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择一氧化硅SiO和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积主膜系面薄膜和干涉截止膜系面薄膜；(3)主膜系面薄膜结构采用Sub/(HL)6H(LH)L(HL)4H(LH)L(HL)6H(LH)L/Air；(4)干涉截止膜系面薄膜采用：Sub/0.66(HL)<sup>8</sup>(HL)<sup>4</sup>2.6(HL)<sup>4</sup>/Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表膜层Ge(高折射率材料层)和膜层SiO(低折射率材料层)的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ＝3310nm，1H＝(4n<sub>H</sub> d)/λ；1L＝(4n<sub>L</sub> d)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数。 | ||
| 地址 | 212009 江苏省镇江市新区丁卯经十五路99号26幢 | ||