发明名称 水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置
摘要 本发明提供一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置,监控装置包括监控电路和报警电路;监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚,报警电路串联于第一插座的第七和第八针脚间。其中,监控电路包括:二极管,正极与第一针脚连接;第一电阻,一端与二极管负极连接,另一端接地;第二电阻,一端与二极管负极连接;第一电容,一端与第二电阻另一端连接,另一端接地;第三和第四电阻,串联后接于电源和地间;比较器,正输入端接于第三和第四电阻间,负输入端与第二电阻另一端连接;RS触发器,R端与比较器输出端连接,S端经第五电容与地连接;驱动用反相器,I1引脚与RS触发器输出端连接;报警输出继电器,接于驱动用反相器O1引脚和电源间。
申请公布号 CN104391478B 申请公布日期 2017.02.15
申请号 CN201410478032.2 申请日期 2014.09.18
申请人 上海先进半导体制造股份有限公司 发明人 陈崇山;沈震
分类号 G05B19/406(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 G05B19/406(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 徐洁晶
主权项 一种水平扩散炉的进舟系统马达电流的监控装置,所述监控装置包括监控电路(101)和报警电路(102);所述监控电路(101)连接到第一插座(SV1)的第一至第六针脚(SV1‑1~SV1‑6),所述报警电路(102)串联于所述第一插座(SV1)的第七和第八针脚(SV1‑7~SV1‑8)之间;所述第二和第三针脚(SV1‑2~SV1‑3)共同接地,所述第五针脚(SV1‑5)连接到电源;其中,所述监控电路(101)包括:隔离二极管(D1),其正极与所述第一针脚(SV1‑1)连接;第一电阻(R1),其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接,其另一端接地;第二电阻(R2),其一端与所述隔离二极管(D1)的负极连接;第一电容(C1),其一端与所述第二电阻(R2)的另一端连接,其另一端接地;第三电阻(R3)和第四电阻(R4),两者串联后连接于所述电源和地之间,用于从中提取所述马达电流为一预定检测电流时所对应的比较器(IC1)的动作电压;比较器(IC1),其正输入端连接于所述第三电阻(R3)和所述第四电阻(R4)之间,其负输入端与所述第二电阻(R2)的另一端连接;RS触发器(IC2),其R输入端与所述比较器(IC1)的输出端连接,其S输入端经过一第五电容(C5)与地连接,所述S输入端连接到所述第四针脚(SV1‑4);驱动用反相器(IC3),其I1引脚与所述RS触发器(IC2)的输出端连接,其GND引脚接地,其CD+引脚连接到所述电源,其O1引脚连接到所述第六针脚(SV1‑6);以及报警输出继电器(K1),其连接于所述驱动用反相器(IC3)的O1引脚和所述电源之间;所述报警电路(102)包括:第一开关(103),其包括常开触点(S11)、常闭触点(O11)和常连触点(P11),所述报警输出继电器(K1)控制所述常连触点(P11)与所述常闭触点(O11)抑或所述常开触点(S11)相连接;当所述第一开关(103)闭合时,所述第七、第八针脚(SV1‑7、SV1‑8)之间短路,所述水平扩散炉不报警;以及当所述第一开关(103)打开时,所述第七、第八针脚(SV1‑7、SV1‑8)之间开路,所述水平扩散炉报警。
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