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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats (26) mit einem Lack, mit den folgenden Schritten: - der Lack wird gleichmäßig auf das Substrat (26) aufgebracht, - der Lösungsmittelanteil des auf dem Substrat (26) aufgebrachten Lackes (30) wird verringert, - das beschichtete Substrat (26) wird einer Lösungsmittelatmosphäre ausgesetzt. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zum Planarisieren einer Lackschicht. |
