一种晶片中心定位装置及方法

摘要

本发明涉及一种晶片中心定位装置及方法，所述晶片中心定位装置包括：载物台、固定环、气缸及定位装置。所述固定环设置于所述载物台上，所述载物台设置有气缸安装座，所述气缸安装在所述气缸安装座上，所述气缸的活塞杆上设置有环形板及定位推柱，所述定位装置固定在设置于所述气缸安装座的卡板上，定位推柱在气缸作用下推动固定环沿着载物台滑槽中滑动进入定位装置中，使晶片移至中心。本发明结构可靠、简单实用、运行平稳、使用方便。

主权项

一种晶片中心定位装置，其特征在于，所述晶片中心定位装置包括：水平设置的载物台，所述载物台设置有气缸安装座；用于承载晶元贴膜的固定环，所述固定环设置于所述载物台上；气缸，所述气缸安装在所述气缸安装座上，所述气缸的活塞杆上设置有环形板及定位推柱；用于所述固定环定位的定位装置，所述定位装置固定在设置于所述气缸安装座的卡板上，所述定位推柱在气缸作用下推动所述固定环沿着所述载物台的滑槽中滑动进入所述定位装置中，使晶片移至中心。