超声波探头及其制造方法

摘要

本发明公开一种超声波探头，用于超声波指纹识别装置，超声波探头包括压电层及溅镀在压电层下方的发射电极及上方的接收电极。压电层包括多个压电柱，压电柱的材料包括锆钛酸铅压电陶瓷。发射电极及接收电极包括铅、锆、钛或/及其合金。此外，本发明还公开了一种超声波探头的制造方法。本发明实施方式的超声波探头及其制造方法，发射电极及接收电极通过溅镀形成，且压电柱的材料与发射电极及接收电极的材料晶格匹配程度较高，可能使得发射电极及接收电极的厚度均匀性得到改善，发射电极及接收电极的电阻抗的均匀度提高，进而可以改善检测的准确度。

主权项

一种超声波探头，用于超声波指纹识别装置，其特征在于，所述超声波探头包括：压电层，所述压电层包括多个压电柱，所述压电柱包括锆钛酸铅压电陶瓷；及溅镀在所述压电层的下方的发射电极及上方的接收电极，所述发射电极及所述接收电极包括铅、锆、钛或/及其合金。