| 摘要 |
진공 밸브는, 평행한 축들 (4, 5) 을 구비하고, 각각 밸브시트 (6, 7) 에 의해 둘러싸여 있는 제 1 및 제 2 밸브 개구부들 (2, 3) 을 가진 밸브 하우징 (1), 개방위치와 중간위치와 폐쇄위치 사이에서 이동가능한 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 (10, 11), 및 지지 유닛 (9) 을 포함하며, 이 지지 유닛에 의해 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 받쳐져 있고, 그리고 상기 지지 유닛은 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 각각의 밸브 개구부 (2, 3) 를 덮는, 하지만 밸브시트 (6, 7) 로부터 들어내져 있는 중간위치와 폐쇄위치 사이에서 제 1 및 제 2 밸브 플레이트들 (10, 11) 을 이동시키기 위해 드라이브 요소 (22) 들을 구비하며, 상기 드라이브 요소들은 각각, 적어도 하나의 실린더 공간 (25, 26) 을 구비하는 실린더 (24), 및 피스톤 로드 (34, 35) 를 가지며 실린더 공간 (25, 26) 안에 배치된 적어도 하나의 피스톤 (27, 28) 을 포함하고, 이 피스톤 로드는 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 하나와 연결되어 있다. 상기 지지 유닛 (9) 은 적어도 하나의 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 를 구비하며, 상기 지지대들과 드라이브 요소 (22) 들의 실린더 (24) 들은 강성적으로 연결되어 있고, 이때 실린더 (24) 들은 각각 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 사이에 놓여 있는 중간 공간을 가교하며, 이 지지대들은 마주하고 있는 쪽들에 측면으로 드라이브 요소 (22) 들의 피스톤 로드들 (34, 35) 옆에 배치되어 있다. |
