一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台

摘要

本发明涉及一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，它包括：一真空腔室，一设置在真空腔室的一端的防污染系统适配接口，一设置在真空腔室的另一端的电镜样品杆适配接口，一设置在真空腔室的上壁面的上光学窗口，一设置在真空腔室的下壁面并与上光学窗口相对的下光学窗口，一设置在真空腔室的一侧的真空系统适配接口，以及一设置在电镜样品杆适配接口与上、下光学窗口之间的真空阀；其中，真空阀与电镜样品杆适配接口之间构成了一预真空通道，在预真空通道的一侧设置有一预抽真空阀门；在电镜样品杆适配接口、上光学窗口、下光学窗口、真空系统适配接口和防污染系统适配接口处均设有真空密封圈。本发明可广泛应用于光电关联成像领域，也可单独应用于光学显微成像。

主权项

一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，其特征在于，它包括：一真空腔室，一设置在所述真空腔室的一端的防污染系统适配接口，一设置在所述真空腔室的另一端的电镜样品杆适配接口，一设置在所述真空腔室的上壁面的上光学窗口，一设置在所述真空腔室的下壁面并与所述上光学窗口相对的下光学窗口，一设置在所述真空腔室的一侧的真空系统适配接口，以及一设置在所述电镜样品杆适配接口与所述上、下光学窗口之间的真空阀；其中，所述真空阀与所述电镜样品杆适配接口之间构成了一预真空通道，在所述预真空通道的一侧设置有一预抽真空阀门；在所述电镜样品杆适配接口、上光学窗口、下光学窗口、真空系统适配接口和防污染系统适配接口处均设有真空密封圈。