一种吸波材料粉体表面氧化物陶瓷涂层的制备方法

摘要

一种吸波材料粉体表面氧化物陶瓷涂层的制备方法，包括以下步骤：将吸波材料粉体放入多孔的容器中；将多孔容器放入ALD反应室内，反复抽真空、置换氮气三次；对粉体在氮气或氩气的气氛下进行流化或者将多孔容器旋转达到粉末分散效果；根据沉积氧化物涂层的种类，选择反应前驱体，设置沉积工艺参数；在氮气或氩气携带下将前驱体蒸汽引入到ALD反应室中；用氮气或氩气吹扫反应室；在氮气或氩气携带下将氧源蒸汽引入到ALD反应室中；用氮气或氩气吹扫反应室；重复步骤，直至沉积到所需涂层厚度。本发明能够在吸波材料粉体表面制备出均匀、致密、杂质少、厚度可精确控制的氧化物陶瓷涂层，从而提升吸波材料粉体耐氧化和抗腐蚀。

主权项

一种吸波材料粉体表面氧化物陶瓷涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)：将吸波材料粉体放入多孔的容器中；步骤(2)：将多孔容器放入ALD反应室内，然后反复抽真空、置换氮气至少三次；步骤(3)：对粉体在氮气或氩气的气氛下进行流化，流化压力1‑1000torr,或者通过将多孔容器旋转达到粉末分散效果；步骤(4)：根据沉积氧化物涂层的种类，选择反应前驱体，设置ALD反应室的参数：沉积温度25℃‑400℃，沉积压力为0.01torr‑500torr；步骤(5)：在氮气或氩气携带下将所述前驱体蒸汽引入到ALD反应室中，保持时间10‑300秒；步骤(6)：用氮气或氩气吹扫反应室，带走剩余的前驱体；步骤(7)：在氮气或氩气携带下将氧源蒸汽引入到ALD反应室中，保持时间10‑300秒；步骤(8)：用氮气或氩气吹扫反应室，带走过量的氧源及副产物；步骤(9)：重复步骤(5)至步骤(8)，直至沉积到所需涂层厚度。