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发明名称 chuck table and apparatus for manufacturing substrate including the same
摘要 본 발명은 척 테이블 및 그를 포함하는 기판 제조 장치를 개시한다. 그의 테이블은, 진공 홀을 갖는 베이스 디스크와, 상기 베이스 디스크의 상기 진공 홀 상에 배치되는 척 디스크를 포함한다. 척 디스크는 복수개의 제 1 섹터들과, 제 1 섹터들을 연결하는 제 1 연결 부재를 포함할 수 있다.
申请公布号 KR20170016547(A) 申请公布日期 2017.02.14
申请号 KR20150109517 申请日期 2015.08.03
申请人 삼성전자주식회사 发明人 김두진;김영식;송근호;하용대
分类号 H01L21/683;H01L21/304;H01L21/324 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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