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发明名称 ETCHING COMPOSITION
摘要 본 발명은 (a) 4가 세륨(Ce4), (b) 무기산, (c) 유기산 및 유기염, (d) 고리형 아민화합물, (e) 함불소 화합물, (f) 황산화합물, (g) 산화물을 포함하는 화합물 및 (h) 물을 포함하는, 금속막 식각액 조성물을 제공한다.
申请公布号 KR20170016716(A) 申请公布日期 2017.02.14
申请号 KR20150110169 申请日期 2015.08.04
申请人 동우 화인켐 주식회사 发明人 국인설;유인호;이종문
分类号 C23F1/10;C07C53/08;C07D235/04;C07D249/02;C23F1/14;C23F1/16;C23F1/18;C23F1/26;G02F1/136 主分类号 C23F1/10
代理机构 代理人
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