| 摘要 |
본원에서 설명되는 구현예들은, 정전 척과 그 위에 배치된 기판 간의 RF 커플링(coupling)의 측방향(lateral) 및 방위각 방향(azimuthal) 모두에서의 튜닝(tuning)을 가능하게 하는 픽셀화된(pixelated) 정전 척을 제공한다. 일 실시예에서, 픽셀화된 정전 척(ESC)은, 상부에 기판을 수용하도록(accept) 구성된 워크피스 지지 표면을 갖는 유전체 본체(dielectric body), 픽셀화된 ESC 내에 배치되는 하나 또는 그 초과의 척킹 전극들, 및 복수의 픽셀 전극(pixel electrode)들을 포함할 수 있다. 복수의 픽셀 전극들은 플로팅 상태(floating state)와 접지 상태(grounded state) 사이에서 스위칭가능하며, 픽셀 전극들은, 접지 또는 접지와 플로팅 상태 모두에 대해 가변 캐패시턴스(variable capacitance)를 갖는다. 픽셀 전극들 및 척킹 전극들은, 워크피스 지지 표면에 기판을 정전기적으로 척킹하도록 동작가능한 회로를 형성한다. |
