LOW PROFILE TRANSDUCER MODULE

摘要

트랜스듀서 구조체가 개시된다. 트랜스듀서 구조체는, 기판의 제 1 면 상에 위치되는 MEMS 구조체, 및 기판의 제 1 면에 커플링되고 MEMS 구조체를 커버하는 뚜껑을 갖는 기판을 포함할 수 있다. 기판은, 기판의 제 1 면 상에서 뚜껑으로부터 측방향으로 변위되고 MEMS 구조체에 전기 커플링되는 전기 콘택트를 포함할 수 있다.