| 摘要 |
본 발명의 목적은 좀 더 간소화된 장치 구성으로 2 개의 기판에 대해 연속적으로 박막 소자를 장착형성할 수 있는 새로운 구성의 듀얼 증착 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 본 발명은 두 장의 기판을 하나의 증착 챔버 중앙부로 연속하여 반입하고, 챔버 안에 있는 기판 샤틀이 각 기판을 중심에 대해 좌측과 우측에 배치된 얼라이너 쪽에 이송하여 주면, 기판 하나가 얼라인 되고 증착되는 동안 다른 기판 하나는 로딩 되고 얼라인 되며, 먼저 얼라인 된 기판이 증착을 마치면 증발원이 반대편으로 이동되어 얼라인을 후발적으로 마친 두번째 기판에 대해 증착공정을 실시하고, 이때 기판 샤틀은 새로운 기판을 받아 증발원이 없는 쪽에 이송하여 얼라이너로 얼라인 하게 한다. |
