| 摘要 |
본 발명은 소스 및 드레인 전극과 화소전극을 하나의 마스크를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것으로, 어레이 기판의 제조방법은, 화소전극과 공통전극이 수직으로 배열되는 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치용 어레이 기판에 있어서, 기판 상에 제 1 금속물질층 및 상기 제 1 금속물질층 상에 제 2 금속물질층을 형성하고, 하나의 제 1 마스크를 사용하여 상기 제 1 및 제 2 금속물질층으로 구성되는 게이트 배선 및 게이트 전극과 상기 제 1 금속물질층으로 구성되는 공통전극 분기부를 형성하는 단계; 상기 게이트 배선, 상기 게이트 전극 및 상기 공통전극을 포함하는 상기 기판 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계; 게이트 절연층 상에 비정질 실리콘층 및 제 3 금속물질층을 형성하고, 하나의 제 2 마스크를 사용하여, 데이터 배선, 활성층, 상기 활성층과 연결되고 서로 이격되는 소스 및 드레인 전극, 및 상기 드레인 전극과 연결되는 화소전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
