| 摘要 |
액정 노광 장치에서는, 2개의 정반 (12A, 12B) 상에 각각 베이스 패드 (72A, 72B) 가 배치되고, 베이스 패드 (72A 및 72B) 에 의해 하나의 스텝 보드 (71) 가 지지된다. 자중 소거 디바이스 (40) 의 디바이스 본체 (60) 는, 스텝 보드 (71) 상에서 이동함으로써, 정반 (12A) 위로부터 정반 (12B) 위로 (또는 그 반대로) 이동하므로, 분리하여 배치되는 인접하는 정반들 (12A, 12B) 사이의 경계부는, 자중 소거 디바이스 (40) 가 이동할 때에 이용되는 가이드면으로서 기능하지 않는다. 따라서, 2개의 정반 (12A, 12B) 을 이간시켜 배치하더라도, 기판 (P) 을 유지하는 미동 스테이지 (21) 가 XY평면을 따라 고 정밀도로 안내될 수 있다. |
