| 摘要 |
본 발명은 보호막 표면에의 오일 점착으로 인한 오염을 방지할 수 있도록 한 오염 방지를 위한 공기유량센서에 관한 것으로, 실리콘기판; 상기 실리콘기판 상부에 적층되는 지지막; 상기 지지막 상부에 적층되고, 마이크로히터와, 상기 마이크로히터 양측 각각에 배치되는 측온저항과, 상기 마이크로히터 및 측온저항에 이어지는 리드패턴을 구비하는 센서부; 상기 센서부 상부에 적층되는 보호막;을 포함하되, 상기 보호막의 상부에 발유성 물질로 형성된 코팅막이 적층된다. |
