| 摘要 |
본 발명은 아이티오(ITO) 스퍼터링 타겟(Sputtering Target)의 측면에 형성하는 경사면의 경사각을 신속하고 정밀하게 설정하여 안전하게 연마할 수 있도록 하는 아이티오 타겟 연마용 지그에 관한 것이다. 즉 연마기계의 베드(2)에 안착 고정하는 다수의 고정홀(H)을 형성한 고정판(11)의 한쪽 측면 상단부에 연통공(33)을 형성한 고정블록(31)을 구성하고 다른 쪽 측면 상단부의 중심에 경사블록(45)을 구비한 각도조절장치(40)와 양 측면 경사공간(51)을 구비한 복수의 각도설정블록(50)을 각각 구성한 고정베이스(10)와; 상부에 가공물(A)을 안착하는 다수의 체결수단(26)을 형성한 회전판(21)의 한쪽 측면에 기준편(23)을 구비하고 그 내측 회전판(21) 하단부에 연통공(33)을 형성한 회전블록(32)을 구성하고 다른 쪽 측면 하단부에 각도기준바(22)를 구성한 회전베이스(20)를; 각각 구성하여 고정블록(31)과 회전블록(32)의 연통공(33)에 기준핀(34)을 삽입하여 구성한 힌지장치(30)로 인해 고정베이스(10)의 상부에 회전베이스(20)가 한쪽 측면에 힌지 고정하도록 하고, 다른 쪽 측면에 각도조절장치(40)의 경사블록(45)이 경사공간(51)에 삽입된 상태의 각도설정블록(40) 상단면에 각도기준바(22)가 안착하도록 구성하는 것을 특징으로 한다. |
