| 摘要 |
본 발명은 안전성, 경제성 및 생산성이 우수한 도포 장치의 액체 공급 시스템 등을 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명에 따른 도포 장치(100)의 도포부(120)에 약액을 공급하기위한 액체 공급 시스템(1)은 약액을 저류하기 위한 버퍼 탱크(3)와, 관로(5-1)와, 버퍼 탱크(3)에 접속되고 버퍼 탱크(3)에 약액을 공급하기 위한 관로(5-2)와, 버퍼 탱크(3)에 접속되고 버퍼 탱크(3)에 가압용의 기체를 공급하기 위한 관로(5-4)와, 버퍼 탱크(3) 및 토출부(13), 도포 노즐(14) 등의 도포부(120)에 접속되고 버퍼 탱크(3)로부터 도포부(120)에 액체를 공급하기 위한 관로(5-5)를 구비하며, 관로(5-1)와 관로(5-2)는 수지제 용기(17)를 착탈 가능하게 접속할 수 있고 관로(5-1)는 접속된 수지제 용기(17)에 기체를 공급하는 것이 가능하다. |
