发明名称 SUBSTRATE CASE AND SUBSTRATE ACCOMMODATION APPARATUS
摘要 [과제] 시트 모양의 기판의 핸들링성을 높이는 것이다. [해결 수단] 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판이 휘감기는 축부와, 해당 축부에 감긴 상태의 기판을 수용하는 커버부를 구비하며, 축부는, 기판의 감기시작 일단부 중, 회로 영역과 다른 영역을 유지하는 유지부를 가진다.
申请公布号 KR101706412(B1) 申请公布日期 2017.02.13
申请号 KR20127016536 申请日期 2010.12.28
申请人 가부시키가이샤 니콘 发明人 미즈타니 히데오;기우치 도루;가와구치 도루;마스카와 다카시
分类号 B65H75/28;H01L21/67;H01L21/673 主分类号 B65H75/28
代理机构 代理人
主权项
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