| 摘要 |
복수의 기판을 저장하는 캐리어를 캐리어 블록에 반입하고, 상기 기판을 처리 블록에서 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 높은 처리량을 얻는 동시에 당해 기판 처리 장치의 대형화를 방지하는 것이다. 캐리어로부터 반입측 기판 임시 적재 모듈로 기판의 반송을 행하고, 당해 캐리어 내의 기판의 불출이 모두 종료된 후에 반입측 기판 임시 적재 모듈로부터 상기 처리 블록으로 기판을 반송하는 제1 기판 반송 기구와, 반출측 임시 적재 모듈에 임시 적재된 기판의 반송처의 캐리어가 제2 캐리어 적재부에 적재된 후, 상기 반출측 임시 적재 모듈로부터 당해 캐리어로 상기 기판의 반송을 행하고, 당해 캐리어가 적재되어 있지 않을 때에는 상기 반출측 임시 적재 모듈로 기판을 반송하는 제2 기판 반송 기구를 구비하도록 장치를 구성한다. |
