| 摘要 |
적어도 두개의 압밀된 블록들을 포함하고, 각 블록은 약 30 중량% 보다 큰 몰리브덴과 최소 하나의 첨가 합금 성분을 가진 합금을 포함하며; 상기 적어도 두개의 압밀된 블록들 사이에 조인트를 포함하고, 상기 조인트는 첨가 결합제(예를들어, 분말, 포일 또는 그 밖의 물질)로부터 야기되는 미세구조가 나타나지 않으며, 약 200㎛의 폭보다 넓은 조인트 라인이 필수적으로 나타나지 않는(예를들어, 약 50㎛ 폭보다 작다) 스퍼터링 타겟. 1080℃ 이하의 온도에서, 압축 이전에 표면 처리된 프리폼 블록들을 압밀하고 열간 압축 성형하는 과정을 포함하는 상기 타겟의 제조방법. |
