物体支持装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

摘要

【課題】感光基板の移動を高速かつ高精度に制御することができる露光装置を提供する。【解決手段】所定の平面度を有する一以上の支持部によって基板Ｐを支持するステージＳＴと、前記基板のうち前記支持部に支持された被支持領域内に露光光を照射する照明装置ＩＬと、前記基板を保持して前記支持部に対して移動させ、前記基板上の前記露光光の照射領域と該基板とを相対変位させる移動機構２０とを備える。【選択図】図１