| 摘要 |
【課題】水晶片に密着層を介して銀を主材料とする励振電極が設けられ、当該励振電極を削ることにより周波数調整がされた水晶振動子を容器に気密に封止した電子部品において、周波数の経時変化を抑制する。【解決手段】水晶片１０に密着層４、Ｂｉからなる下地層及び主電極層３００をこの順に積層して水晶振動子を構成し、水晶振動子を容器に固定するにあたって導電性接着剤を加熱硬化させ、下地層のＢｉを主電極層３００中に拡散させる。その後、当該励振電極３１、３２の表面を削ることにより周波数調整を行った後、容器を加熱封止し、主電極層３００の表面に近傍のＢｉのリッチな層を偏析させる。従って周波数調整後に、励振電極３１、３２の表面にＢｉの層５１が形成された状態とする。【選択図】図９ |
