| 摘要 |
【課題】膜が破裂しても高温ガスが圧電型圧力センサのハウジングから環境へ逃げることができない圧電型圧力センサの提供。【解決手段】本発明の圧電型圧力センサは、膜と、圧電センサと、電極配列部と、予応力付与本体とを収容するセンサハウジングアセンブリを備える。膜が圧力プロファイルをとらえ、とらえられた圧力プロファイルによって分極電荷が圧電センサに生成され、電極配列部が生成された分極電荷を受け、電極配列部が電荷ピックオフ及び電荷出力部を備える。電荷ピックオフは、電荷出力部に電気的及び機械的に接続され、電荷出力部が第３の隙間によって予応力付与本体から電気的に絶縁され、電荷出力部が、予応力付与本体の膜から離れた方向を向く側で電気的フィードスルー配列を介して予応力付与本体に機械的に接続され、第３の隙間を環境から圧密にシールする。【選択図】図３ |
