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发明名称
光硬化性組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法
摘要
【課題】i線(365nm)よりも大きい波長の紫外光に対して効率的に酸を発生させる高感度な光硬化性組成物を提供する。【解決手段】分子量が210以上の下記一般式(1)で表される化合物A及び分子量が170以上ビニル基と芳香環を有する特定の化学構造を有する化合物Bの少なくともいずれかと、光酸発生剤と、酸により反応する化合物と、を含む光硬化性組成物とする。【選択図】なし
申请公布号
JP2017032989(A)
申请公布日期
2017.02.09
申请号
JP20160147490
申请日期
2016.07.27
申请人
東洋合成工業株式会社
发明人
榎本 智至;菅 優介;吉野 匠
分类号
G03F7/031;C08G59/68;G03F7/038;G03F7/20
主分类号
G03F7/031
代理机构
代理人
主权项
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