| 摘要 |
【課題】光モジュールの配置角度を基準とした光モジュールの照射光の波面を検出する波面センサを提供する。【解決手段】被測定光線１０１を照射するレーザモジュール２０に予め設定された角度で設置され、入射した光線を透過または反射する第１の光線分割部１と、波面センサの角度基準となる基準光線の照射方向と逆方向の第１の参照光線１０２を、第１の光線分割部１に照射するコリメータ３と、第１の参照光線１０２が第１の光線分割部１で反射されて得られた第２の参照光線１０３の波面傾斜を測定し、測定した波面傾斜からレーザモジュール２０との相対角度を算出する波面検出部５を備える。【選択図】図１ |
