发明名称 処理液、及び、構造体の製造方法
摘要 【課題】微細な開口を形成する場合であっても開口性に優れる処理液を提供する。【解決手段】絶縁層に埋め込まれた樹脂部を除去して開口を前記絶縁層に形成するための処理液であって、前記樹脂部が、感光性樹脂層に露光処理及び現像処理を施して得られた硬化物を含み、前記処理液が、2価の金属イオンを含有すると共に、前記現像処理の処理液、及び、前記現像処理後に前記硬化物に接触する処理液の少なくとも一方として用いられる、処理液。【選択図】なし
申请公布号 JP2017032827(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150153610 申请日期 2015.08.03
申请人 日立化成株式会社 发明人 村松 有紀子;沢辺 賢;村上 泰治;八木 成行
分类号 G03F7/42;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/033;H05K3/00;H05K3/46 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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