| 摘要 |
【課題】 複雑な形状の測定対象物ＯＢをＸ線回折測定する前に、回折環に欠落部分が生じないか確認する。【解決手段】 Ｘ線と光軸を同一にした平行な可視光を測定対称物ＯＢに照射する可視光出射器と、回折環が形成される位置でテーブル１６に取り付けられ、測定対象物ＯＢで発生する散乱光の一部を結像レンズ５６を介してフォトディテクタ５７で受光し、受光強度を検出する受光装置５５とを備える。Ｘ線回折測定を行う前に可視光を測定対称物ＯＢに照射し、スピンドルモータ２７を回転させて、回転角度に対応させて受光装置５５が検出する受光強度を取得する。受光強度が設定値より小さい回転角度は回折環に欠落が発生するとして、回折環の欠落情報を演算する。【選択図】図５ |
