发明名称 組成物および部品の製造方法
摘要 組成物はエッチング耐性樹脂の形成に用いられる。かかる樹脂は部品またはデバイスの製造において有用である。
申请公布号 JP2017504686(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20160541454 申请日期 2015.01.07
申请人 東洋合成工業株式会社 发明人 大幸 武司;赤崎 泰吾;和田 理沙
分类号 C08F2/50;B29C59/02;C08F220/10;C08F230/00;C08K5/02;C08L27/12;C08L33/04;C08L43/00;H01L21/027 主分类号 C08F2/50
代理机构 代理人
主权项
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