摘要 |
【課題】金属充填処理の歩留まりや処理効率の向上を図ることが可能な金属充填装置を提供する。【解決手段】この金属充填装置100は、ウェハ1の表面に開口するように形成された微小空間2内に溶融金属3を充填する金属充填装置であって、ウェハ1を保持する保持部11と、微小空間2の周囲を取り囲む筒状部材12と、筒状部材12の内側にウェハ1に向けて進退可能に配置された加圧部材13と、保持部11またはウェハ1と、筒状部材12と、加圧部材13とにより気密状に形成される処理室4内に、溶融金属3を供給する金属供給部14とを備える。金属充填装置100は、処理室4内に供給された溶融金属3を加圧部材13により加圧しながら冷却し、溶融金属3の凝固が完了する前に加圧を停止するように構成されている。【選択図】図7 |