光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ

摘要

【課題】接合強度が高く、優れた機械的強度を有する光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供する。【解決手段】光スキャナー３は、Ｓｉ層４１と、Ｓｉ層４３と、これらの間にあるＳｉＯ２層４２と、を有し、Ｓｉ層４１から形成された可動部３１および軸部３２１、３２２と、Ｓｉ層４２から形成され、可動部３１と離間して配置された保持部３４と、ＳｉＯ２層４２から形成され、可動部３１と保持部３４とを連結する連結部３６と、保持部３４の上面に設けられ、光を反射する光反射部３５と、を備え、可動部３１と連結部３６とが直接接合によって接合されている。【選択図】図５