アクチュエータ、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置

摘要

【課題】高温環境下で使用されても圧電体薄膜に変性が生じることを抑制可能なアクチュエータ並びにそれを用いたインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ３０は、酸化物材料を含む圧電体層１０３と、圧電体層１０３の下方に配置され圧電体層１０３の変形に伴い変形する振動板１０４と、圧電体層１０３と振動板１０４との間に配置され、圧電体層１０３における還元反応を抑制する還元抑制層１０７と、を有する。【選択図】図４