| 摘要 |
【課題】配管や駆動機構に負荷がかかりにくい揺動機構を備えたエッチング装置を提供する。【解決手段】 本発明に係るエッチング装置は、ガラス基板等の被処理基板を所定方向に搬送する搬送部１２と、搬送されている被処理基板に対してエッチング液を噴射する噴射ユニット１４を備えている。さらに、噴射ユニット１４は、ノズルユニット２４、主配管２８、シャワー配管３０、マグネット駆動部３８、スライド部材４０および支持シャフト４２を備えている。主配管２８およびシャワー配管３０は、不図示のエッチング液収容槽からエッチング液をノズルユニット２４に供給するように構成される。ノズルユニット２４は、エッチング液をガラス基板１００に噴射するように構成される。マグネット駆動部３８、スライド部材４０および支持シャフト４２は、ノズルユニット２４を揺動させるように構成される。【選択図】図４ |
