| 摘要 |
【課題】汚染元素に汚染された超格子層の添加元素濃度を求める方法を提供する。【解決手段】方法は、基板上に、結晶性を有する第１の層と、結晶性を有する第２の層と、第２の層と格子整合して積層され、第２元素を含み、結晶性を有する第３の層とを、第１の層及び第２の層及び第３の層内に第１元素が同じ濃度を含むように形成した後、基板を除去して、試料を形成し、試料のＸ線回折光強度の角度分布を測定し、第１の層に起因する第１ピークの位置と、第２の層及び第３の層に起因する第２のピークの位置とに基づいて、第３の層に含まれる第２元素の濃度を求める。【選択図】図１９ |
