| 摘要 |
【課題】表面に薄膜が形成されて構造色を有する対象物の三次元形状を精度よく計測可能な三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及び薄膜計測装置を提供する。【解決手段】三次元形状計測装置１は、表面に薄膜が形成された対象物Ｇに対し照射光α１を、当該対象物Ｇの全方位から照射する照射部１１と、対象物Ｇの表面で反射した反射光α２を、当該反射光α２に含まれる複数の偏光成分ごとに受光する撮像素子１２２を複数配列してなる撮像部１２と、一つの撮像素子１２２が受光した複数の偏光成分ごとの受光強度に基づいて、当該撮像素子１２２が受光した反射光α２の偏光度を算出する偏光度演算部と、を備えている。【選択図】図１ |
