发明名称 ワーク浮上搬送装置
摘要 【課題】ワークの幅方向側端部位における所定の浮上量を確保してワーク幅方向の全域に亘ってワークの平坦度を維持し、ワークの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すワーク浮上搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位A2abに配置されてワークWの幅方向側端部位Wbに対面する噴射口121および吸引口123の分布密度が、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向部位A2aaに配置されてワークWの幅方向部位Waに対面する噴射口121および吸引口123の分布密度より密になっていることを特徴とするワーク浮上搬送装置。【選択図】図5
申请公布号 JP2017029948(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20150154577 申请日期 2015.08.04
申请人 オイレス工業株式会社 发明人 伊藤 彰彦;佐藤 光;角田 耕一;金井 仁志
分类号 B05C13/02;B65G49/06;B65G51/03;H01L21/027;H01L21/677 主分类号 B05C13/02
代理机构 代理人
主权项
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