| 摘要 |
【課題】セラミックスである圧電素子に複数のノズルを、精度良くかつ、安価に形成することができるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】このインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズル１０１と、ノズル１０１にインクを供給するインク圧力室２０１と、ノズル１０１を囲んで形成される振動板１０６と、ノズル１０１を囲んで振動板１０６に接して形成される第１電極と、ノズル１０１を囲んで第１電極に接して形成される圧電体膜１０８と、ノズル１０１を囲んで圧電体膜１０８に接して形成される第２電極と、ノズル１０１を囲んで第１電極、第２電極、もしくは振動板１０６に接して形成される保護膜１１０と、を有している。【選択図】図７ |
