发明名称 |
ダイシングフィルム粘着層形成用組成物およびダイシングフィルム |
摘要 |
反応性官能基を1以上含むシリコン化合物オイルと、粘着バインダーと、光開始剤とを含み、前記粘着バインダー対比、前記反応性官能基を1以上含むシリコン化合物オイルの重量比が0.01%〜4.5%である、ダイシングフィルム粘着層形成用組成物および前記組成物を含む粘着層を含むダイシングフィルム、並びに前記ダイシングフィルムを含むダイシングダイボンディングフィルムおよび前記ダイシングダイボンディングフィルムを用いた半導体ウエハのダイシング方法に関する。【選択図】なし |
申请公布号 |
JP2017504976(A) |
申请公布日期 |
2017.02.09 |
申请号 |
JP20160559139 |
申请日期 |
2014.12.12 |
申请人 |
エルジー・ケム・リミテッド |
发明人 |
キム、ヨン−クク;キム、セ−ラ;キム、ヒ−チョン;チョ、チョン−ホ;イ、グァン−チュ;キム、チョン−ハク;ナム、スン−ヒ |
分类号 |
H01L21/301;C09J7/02;C09J11/06;C09J133/04;C09J183/04 |
主分类号 |
H01L21/301 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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