发明名称 |
積層レンズ構造体及びその製造方法、電子機器、型及びその製造方法、並びに、基板 |
摘要 |
【課題】積層レンズ構造体のレンズの位置ズレを小さくする。【解決手段】複数の貫通孔が、製造プロセスにおいて発生する各貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成され、製造プロセスにおいて発生する各レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて第2の目標位置からずらした位置に各レンズの第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、各レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて第3の目標位置からずらした位置に各レンズの第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各貫通孔の内側にレンズが形成され、レンズが形成された複数の基板が直接接合により積層され、積層された複数の基板が個片化される。本技術は、例えば、積層レンズ構造体等に適用できる。【選択図】図65 |
申请公布号 |
JP2017030252(A) |
申请公布日期 |
2017.02.09 |
申请号 |
JP20150152917 |
申请日期 |
2015.07.31 |
申请人 |
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 |
发明人 |
引地 邦彦;竹内 幸一;黒部 利博;松谷 弘康;伊藤 啓之;齋藤 卓;大島 啓示;藤井 宣年;田澤 洋志;白岩 利章;石田 実 |
分类号 |
B29C39/10;B29C33/12;B29C39/26;G02B3/00;G02B7/02;G03B15/00 |
主分类号 |
B29C39/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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