发明名称 フッ化カルシウム部材、その製造方法、及びフッ化カルシウム結晶の圧着方法
摘要 【課題】容易な工程によって得られる多様な形状のフッ化カルシウム(CaF2)部材およびCaF2結晶同士の圧着方法を提供する。【解決手段】CaF2の単結晶である第1部材と、CaF2の単結晶又は多結晶である第2部材とを有し、第1部材と第2部材とを圧着してなるCaF2。第2部材はCaF2の単結晶であり、光源用部材として用いられる。前記圧着は、前記第1部材と前記第2部材の接触面に2.1MPa〜3.6MPaの圧力を与えた状態で、前記第1部材と前記第2部材とを所定温度の雰囲気中に保持することを含み、前記所定温度が400℃〜1100℃である。【選択図】図1
申请公布号 JP2017030979(A) 申请公布日期 2017.02.09
申请号 JP20130267709 申请日期 2013.12.25
申请人 株式会社ニコン 发明人 上原直保;安住美菜子;鈴木淑
分类号 C30B29/12;C30B33/06 主分类号 C30B29/12
代理机构 代理人
主权项
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